由于压电定位技术具有很多独特之处，例如快速响应、刚性好、长寿命、无限的分辨率等，很快在从半导体测试设备到精密机械加工等许多领域中得到应用。其中，最具有代表性的应用为用于精密加工的压电快速机床伺服系统，该类系统通常装有特殊的防水外壳，并提供与机床相联的机械接口。

　　压电定位系统内置测量/传感子系统，分辨率达到纳米至亚纳米级，通过数字或模拟控制器可闭环工作。柔性导向机构及运动放大机构可以在增大行程的同时保护压电陶瓷免受离轴力（侧向力和扭矩）的破坏。

　　压电定位系统广泛用于世界各地的工厂中，每天工作24小时，一周7天。它们的使用大大提高了光学器件、曲轴、轴承、活塞、汽缸等的加工精度，成为机床中金刚石修整、研磨、抛光、非圆镗孔和磨损补偿等关键工艺的核心部件。