压电陶瓷元件

• 压电陶瓷片
• 压电纤维片
• 叠堆压电陶瓷

压电陶瓷促动器

• 直驱型压电促动器
• 放大型压电促动器
• 专用型压电促动器

一维压电纳米台【X】

• 1轴行程≤60μm
• 1轴行程≤150μm
• 1轴行程≤300μm
• 1轴行程≤500μm
• 1轴行程≤1000μm
• 1轴行程≤2000μm

一维压电纳米台【Z】

• 1轴行程≤60μm
• 1轴行程≤150μm
• 1轴行程≤300μm
• 1轴行程≤500μm
• Z轴行程≤1000μm

一维压电纳米台【θX/θZ】

• 1轴行程≤3mrad
• 1轴行程≤10mrad

二维压电纳米台【XY】

• 2轴行程≤50μm
• 2轴行程≤150μm
• 2轴行程≤300μm
• 2轴行程≤500μm
• 2轴行程≤1000μm
• 2轴行程≤2000μm

二维压电纳米台【XZ】

• 2轴行程≤50μm
• 2轴行程≤150μm
• 2轴行程≤300μm
• XZ行程≤500μm

二维压电纳米台【θXθY】

• 2轴行程≤5mrad
• 2轴行程≤10mrad
• 2轴行程≤15mrad
• 2轴行程≤25mrad
• 2轴行程≤50mrad
• 2轴行程≤100mrad

三维压电纳米台【XYZ】

• 3轴行程≤50μm
• 3轴行程≤150μm
• 3轴行程≤300μm
• 3轴行程≤500μm

三维压电纳米台【ZθXθY】

• 3轴行程≤150μm/≤3mrad
• 3轴行程≤300μm/≤6mrad
• 3轴行程≤500μm/≤12mrad
• 3轴行程≤20μm/≤4mrad
• 3轴行程≤40μm/≤8mrad
• 3轴行程≤80μm/≤16mrad

三维压电纳米台【XYθZ】

• 3轴行程≤150μm/≤1mrad
• 3轴行程≤300μm/≤2mrad
• 3轴行程≤500μm/≤3mrad

六维压电纳米台【XYZθXθYθZ】

• 6轴行程≤150μm/≤3mrad
• 6轴行程≤300μm/≤6mrad
• 6轴行程≤500μm/≤10mrad

压电快速偏摆镜

压电物镜位移器

压电显微扫描台

压电中空平扫台

压电机床进给台

压电平台定制