超精密压电陶瓷纳米定位系统应用

随着科技的不断发展,尽可能提高定位精度是许多应用领域的迫切需求,对科研仪器和工业设备的精度要求不断提高,要求的特征尺寸越来越小,越来越精密,要求的精度从微米至纳米量级,运动控制的精度正在被不断推向极限,普通的运动控制系统已不能满足应用需求,这给超精密定位技术带来了巨大的发展机遇和技术挑战。超精密定位技术已在科研和工业领域中广泛应用,在半导体制造、显微技术、表面测量技术、计量、激光、光电子、光纤、生物技术、制药、医疗、医学工程、生命科学、天文、航天、精密加工及自动化技术等领域,都能够看到超精密定位技术的身影,并解决各种精密定位中的苛刻要求,超精密运动与控制技术是先进制造和前沿科学研究的核心技术之一。