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超精密压电陶瓷纳米定位系统应用
随着科技的不断发展,尽可能提高定位精度是许多应用领域的迫切需求,对科研仪器和工业设备的精度要求不断提高,要求的特征尺寸越来越小,越来越精密,要求的精度从微米至纳米量级,运动控制的精度正在被不断推向极限,普通的运动控制系统已不能满足应用需求,这给超精密定位技术带来了巨大的发展机遇和技术挑战。超精密定位技术已在科研和工业领域中广泛应用,在半导体制造、显微技术、表面测量技术、计量、激光、光电子、光纤、生物技术、制药、医疗、医学工程、生命科学、天文、航天、精密加工及自动化技术等领域,都能够看到超精密定位技术的身影,并解决各种精密定位中的苛刻要求,超精密运动与控制技术是先进制造和前沿科学研究的核心技术之一。
压电纳米定位台和促动器已经在许多非接触式光学检测系统和接触式纳米测量系统中大量运用。压电纳米定位产品所具备的亚纳米精度、极好的一致性、纳米至亚纳米级的平面度和直线度是这些领域最新技术突破的前提。通过应用高级数字控制方法,扫描线性度可以提高数个数量级,而跟踪误差减小到亚原子水平。电容式纳米测量传感器可以测量亚纳米范围的运动并具有很高的带宽。
压电促动器和纳米定位传感器同时也是纳米压印/微米压印机构以及纳米摩擦学/纳米制造实验的理想组件。
激光几乎应用于我们生活中的方方面面。复杂的激光器和光学系统组件要求非常精细的调整和稳定定位,压电驱动器可用于:
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光学系统及镜头的校准
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镜像调节,快速仰角调整及扫描
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干涉
超精密压电纳米定位系统专业制造商