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压电纳米定位定制化解决方案
研生专注于纳米级超精密定位及运动控制技术领域,拥有近十余年的压电纳米定位产品研发与生产工艺的技术经验积累,专业的研发团队能够为用户提供各种类型的纳米级精密定位系统的解决方案,并为客户提供定制化服务,可根据用户实际应用需求进行研发设计与制造,为用户提供最佳的技术解决方案,同时为用户提供及时、周到的技术支持与售后服务。
研生最新研发成果
研生最新研制的三至六维并联式结构纳米级超精密定位压电位移台,内部采用独特的柔性铰链并联式结构设计,所有促动器作用在同一个移动台面上,使台面具有更轻的质量和更低的惯量,相较于串联式结构,并联式结构具有更高的负载、更高的动态性,并解决了诸多串联多轴系统中存在的弊端,具有更优异的运动导向精度。
研生专注于压电纳米定位技术领域
辽宁研生科技有限公司专注于纳米级超精密定位及运动控制技术领域,专业从事压电纳米定位产品的研发、生产与销售。为需求超精密运动控制技术的高校、研究所、企业提供系统的技术解决方案与集成,提供各种一至六维的压电纳米位移台,运动行程可达2000μm,偏转行程可达120mrad,同时研生提供定制化服务,根据客户实际应用进行设计研发与制造。
视频中心
<节选1> P25二维纳米级压电显微镜扫描台介绍
二维压电显微扫描台 ║P25系列专为显微扫描系统应用设计,压电扫描台内置德国进口高性能压电陶瓷,内部采用高精度柔性铰链并联导向系统,具有超高的运动精度,可提供超高平面度的纳米扫描,压电扫描台采用独特的并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,使台面具有更轻的质量和更低的惯量,相较于串联式压电扫描台,并联式压电扫描台具有更高的负载、更高的动态性。压电显微镜扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保压电平台具有极佳的运动控制精度,分辨率、定位精度、稳定性可达纳米量级,运动稳定时间仅为毫秒量级。压电显微镜扫描台非常适合应用于超高精度的显微扫描系统中,超大中空式设计,可方便安装载片支架和培养皿支架,可更好的集成于显微扫描系统中。
<节选2> P68系列六维全并联压电纳米位移台介绍
六维压电纳米位移台 ║P68系列是采用压电陶瓷驱动的六维并联式压电陶瓷定位平台,六维压电纳米位移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电陶瓷平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电平台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电陶瓷定位平台内部采用并联式结构设计 , 结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。
<节选3> P11系列三维压电陶瓷平移台介绍
三维压电平移台 ║P11系列是采用压电陶瓷驱动的三维纳米级压电平移台,压电纳米平移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电平移台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电平移台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电纳米平移台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电平移台特点体积小、结构紧凑、易于集成、具有超高性价比的纳米定位系统。
<节选4> P52系列压电偏摆台介绍
压电偏摆台 ║P52系列,压电偏摆台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电位移台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电偏摆台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计,且中央通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
典型应用:
● 计量 ● 干涉测量 ● 光子学/集成光学 ● 平版印刷术 ● 纳米定位 ● 扫描显微镜
● 样本对准 ● 微加工 ● 半导体
<节选6> P64系列二维压电扫描台介绍
<节选5> P11系列一维压电陶瓷平移台介绍
一维压电平移台 ║P11系列是采用压电陶瓷驱动的一维纳米级精密定位压电平移台,压电平移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电纳米台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了纳米台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电纳米台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电纳米定位台特点体积小、结构紧凑、易于集成,高性价比。
二维压电扫描台 ║P64系列是采用压电陶瓷驱动的二维并联压电纳米定位扫描台,压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电扫描台内部采用并联式结构设计 , 结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。