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二维压电显微扫描台 ║P255S

产品参数
运动轴 X,Y
行程 500μm
分辨率 2.5nm
外形尺寸 178x150x20mm
中空尺寸 93x65mm
结构类型 机构放大式并联结构

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二维压电显微扫描台 ║P255S采用压电陶瓷驱动的二维纳米级压电显微镜扫描台,专为显微扫描系统应用设计,压电扫描台内置德国进口高性能压电陶瓷,内部采用无摩擦及空回的高精度柔性铰链并联导向系统,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的运动导向精度,可提供超高平面度的纳米扫描,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。压电显微镜扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保压电平台具有极佳的运动控制精度,分辨率、定位精度、稳定性可达纳米量级,运动稳定时间仅为毫秒量级。


压电扫描台采用独特的并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,使台面具有更轻的质量和更低的惯量,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。相较于串联式压电扫描台,并联式压电扫描台具有更高的负载、更高的动态性。压电显微扫描台非常适合应用于超高精度的显微扫描系统中,超大中空式设计,可方便安装载片支架和培养皿支架,可更好的集成于显微扫描系统中,用于高分辨率显微镜的高性价比纳米定位系统。

P255S外形尺寸:178x150x20mm,中空尺寸:93x65mm

P255HS外形尺寸:178x150x25mm,中空尺寸:93x65mm

◆ 行程为500µm,分辨率为2.5nm;

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链并联导向系统,质量更轻、惯量更低、动态性更高;

◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择;

◆专为显微系统设计,可另配显微镜载片支架、培养皿支架或量身定制支架。

专业知识与技术

  • 研生首创,国际技术领先:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统

    突出优势:研生首创,国际技术领先:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统。研生科技设计开发的并联式柔性铰链导向结构技术已成功转化为系列化产品,并广泛应用于各相关应用领域……

    10-10
  • 柔性铰链导向放大结构

    在纳米定位技术中,柔性铰链导向系统可实现高达几毫米的定位任务。柔性铰链的运动基于固体的弹性变形。这避免了静态、滚动或滑动摩擦,其优点是高刚性、高承载和耐磨性。柔性铰链无需维护,可使用非磁性材料制造,不需要润滑剂或消耗品,因此可在真空环境下工作。压电陶瓷促动器的行程也可通过集成杠杆机构增加。促动器被机械地集成在柔性铰链结构内,行程可扩展至2 mm。由于简单的杠杆结构会使系统失去了相当数量的指导精度和刚度,所以需要设计更复杂的柔性铰链导向结构。柔性铰链可实现超高路径精度的运动。为了补偿高速或横向偏移,研生公司开发出了多种特殊的复合式多连杆柔性导向结构。这些导向系统应用于各类纳米级精密定位系统中,可实现在亚纳米或微弧度范围内的运动精度。

    03-06
  • 压电陶瓷促动器(二)

    压电陶瓷堆叠型促动器的位移通常可达几十微米,最大可达几百微米。柔性铰链导向结构可通过设计,使其作用原理如同一根机械杠杆,对压电陶瓷促动器的位移进行机械放大,必要时将促动器引导至一个不同的方向上。杠杆放大系统的设计十分严苛:一方面,其应防止侧向偏移,另一方面,其应始终沿直线进行导向,杠杆通常是通过一个枢轴点进行引导。此外,行程的增大将导致刚度减小。柔性铰链导向可通过设计,使其进一步集成无需额外导向。柔性铰链结构是用作导向和杠杆系统,在具有更高集成度的压电陶瓷系统中作用也是如此。

    02-28
  • 并联运动压电陶瓷定位系统

    在多轴并联系统中,所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性,从而大幅降低移动质量。优势:并联运动系统可比串行堆叠或嵌套系统设计得更紧凑。单个轴的误差和质量不会累积。由于最小化质量惯性,并联运动系统可提供多达6个水平的自由度和所有轴的高动态。多轴并联运动允许使用直接平行计量,测量所有有关固定参考的移动平台的自由度。例如,由于力的作用而意外的串扰进入不同轴,因此可检测并实时纠正。这种积极的实时校准即使在动态运行时,也可实现纳米范围内的运动精度。

    02-20
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二维压电显微扫描台 ║P255S

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