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压电物镜扫描仪 ║P218S

产品参数
运动轴 Z
行程 800μm
结构类型 机构放大式结构

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压电物镜扫描仪 ║P218S是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电物镜聚焦扫描器,用于显微镜的大行程纳米定位和扫描系统,压电物镜扫描器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点压电物镜位移器内置精密位移传感器使扫描仪在开环操作时能提供高分辨率,同时主动补偿短期和长期漂移。压电物镜定位器为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。深得三维成像技术、筛选、干涉、计量、自动对焦系统、共聚焦显微镜、半导体测试、生物技术等应用用户认可。


压电物镜扫描仪设计用于精细对焦调节和高速Z轴序列图像采集。超大行程设计达800微米,满足大行程纳米定位和扫描系统用户需求,它兼容多款显微镜,它避开了集成在显微镜中的相对缓慢的步进电机,从而实现了快速的3D扫描。该压电物镜安装架最大通光孔径为M32,最大负载为500 g (1.1 lbs),它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用的大视场物镜。为了更方便的更换物镜,安装座分别通过独立的转接件连接显微镜和物镜。这种设计使得可在不需要拆下其它组件的情况下拆卸物镜。转接件可选螺纹接口(详见尺寸图)。

                                                                                                    

◆ 结构紧凑,易于集成,分立式螺纹适配器可实现便捷连接;

● 超分辨率显微镜

◆ 与电机式驱动器相比,具有明显更快的响应和更长的使用寿命;

● 光学圆盘显微镜

◆ 亚纳米级分辨率的物镜精密定位;

● 共聚焦显微镜

◆ 零间隙无摩擦高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性;

● 3D成像

◆ 内置高性能压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

● 筛选

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

● 干涉测量


● 测量技术


● 自动聚焦系统


● 生物技术


● 半导体测试

                                                                              

                         

型号

P218S

P218

单位

公差

主动轴

Z

Z

-

-

运动和定位





传感器类型

SGS

-

-

-

最大行程[-20V~+150V]

800

同S版

μm

±20%

标称行程[0V~+120V]

640

同S版

μm

±20%

分辨率

8

同S版

nm

typ.

闭环线性度

0.12

-

%F.S.

typ.

重复定位精度

0.03

-

%F.S.

typ.

机械特性





运动方向刚度

0.15

同S版

N/μm

±20%

空载谐振频率

210

同S版

Hz

±20%

谐振频率@80g

160

同S版

Hz

±20%

运动方向推/拉力

100/20

同S版

N

Max.

其他





工作温度

-20~80

同S版

-

材质

钢,铝

同S版

-

-

外形尺寸

65x62x50

同S版

mm

-

最大物镜接口

M32

同S版

-

Max.

最大物镜重量

500

同S版

g

Max.

重量

0.45

同S版

Kg

±5%

线缆长度

1.5

同S版

m

±10mm

连接器类型

LEMO│D-Sub9

同S版

-

-

注:最大驱动电压为-20V...+150V;长期使用建议驱动电压为0V...+120V。

专业知识与技术

  • 超高精度全并联式柔性铰链导向系统

    突出优势:独特的超高精度全并联式柔性铰链导向系统。研生科技设计开发的并联式柔性铰链导向结构技术已成功转化为系列化产品,并广泛应用于各相关应用领域……

    10-10
  • 柔性铰链导向放大结构

    在纳米定位技术中,柔性铰链导向系统可实现高达几毫米的定位任务。柔性铰链的运动基于固体的弹性变形。这避免了静态、滚动或滑动摩擦,其优点是高刚性、高承载和耐磨性。柔性铰链无需维护,可使用非磁性材料制造,不需要润滑剂或消耗品,因此可在真空环境下工作。压电陶瓷促动器的行程也可通过集成杠杆机构增加。促动器被机械地集成在柔性铰链结构内,行程可扩展至2 mm。由于简单的杠杆结构会使系统失去了相当数量的指导精度和刚度,所以需要设计更复杂的柔性铰链导向结构。柔性铰链可实现超高路径精度的运动。为了补偿高速或横向偏移,研生公司开发出了多种特殊的复合式多连杆柔性导向结构。这些导向系统应用于各类纳米级精密定位系统中,可实现在亚纳米或微弧度范围内的运动精度。

    03-06
  • 压电陶瓷促动器(二)

    压电陶瓷堆叠型促动器的位移通常可达几十微米,最大可达几百微米。柔性铰链导向结构可通过设计,使其作用原理如同一根机械杠杆,对压电陶瓷促动器的位移进行机械放大,必要时将促动器引导至一个不同的方向上。杠杆放大系统的设计十分严苛:一方面,其应防止侧向偏移,另一方面,其应始终沿直线进行导向,杠杆通常是通过一个枢轴点进行引导。此外,行程的增大将导致刚度减小。柔性铰链导向可通过设计,使其进一步集成无需额外导向。柔性铰链结构是用作导向和杠杆系统,在具有更高集成度的压电陶瓷系统中作用也是如此。

    02-28
  • 并联运动压电陶瓷定位系统

    在多轴并联系统中,所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性,从而大幅降低移动质量。优势:并联运动系统可比串行堆叠或嵌套系统设计得更紧凑。单个轴的误差和质量不会累积。由于最小化质量惯性,并联运动系统可提供多达6个水平的自由度和所有轴的高动态。多轴并联运动允许使用直接平行计量,测量所有有关固定参考的移动平台的自由度。例如,由于力的作用而意外的串扰进入不同轴,因此可检测并实时纠正。这种积极的实时校准即使在动态运行时,也可实现纳米范围内的运动精度。

    02-20
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压电物镜扫描仪 ║P218S

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